运动和控制技术博客 | 派克汉尼汾中国

小部件的大学问

PARTEK 22 PFA从智能手机到产业机器人,再到超级计算机,随着应用范围不断增加,半导体行业在蓬勃发展的同时,其制程工艺也不断快速提升。然而,无论工艺如何改进,都离不开盐酸、氢氧化钠溶液、过氧化氢溶液,以及乙醇,丙酮等各类高纯度化学品的使用。

这些高纯度化学品具有强酸、强腐蚀性等特性,在其输送系统原材料的选择上,必须慎之又慎。PFA和PTFE因拥有出色的物化性能而进入人们的视野,它们具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂、耐腐蚀等特点,被视为半导体制程中化学品输送系统的理想材料。

例如,在半导体的CMP工艺中,Slurry输送系统的部件就可选用PFA材质。CMP又称化学机械抛光,它能精确并均匀地把硅片抛光为需要的厚度和平坦度,其中,Slurry供应系统与之关系密切。作为一种特殊的化学研磨液,Slurry是由二氧化硅等微小颗粒悬浮在液体中形成的悬浮液,其供应系统将持续为CMP提供制程所需的化学研磨液,一旦系统出现异常,会对CMP制程造成严重损失。

因此,Slurry输送系统对阀门的选用要求严格。比市场上同类产品相比,派克汉尼汾旗下的 22系列PFA膜阀,能更好地符合用户需求。

PARTEK 22_1

双密封点
Slurry有易结晶的特性,一旦在阀座密封处形成结晶,就会影响阀门的关闭功能,造成泄漏故障。因此,22系列膜阀采用膜片密封形状设计,形成双密封点,能有效控制这类故障。在阀门关闭时的应力测试图中,可以观察到双密封点,如果其中一处密封点失效,另一处密封点还将继续工作,从而提高阀门的工作寿命。第三方的测试数据也很好地证明了这一点:在输送盐酸和硫酸时,工作寿命超过210万次;输送纯水时,超过300万次;输送Slurry时,双密封点的效果明显,在系统无故障的条件下,工作寿命超过210万次。

滑梯状流道
目前市场上应用于Slurry阀门多数采用内部无死角的自排放结构,使阀门在不使用时能够排空。22系列膜阀采用滑梯状流道设计,一定程度上减少了流体在阀门内部的停留时间,同时减小流体对阀体不同部位的应力差,从而有效延长阀体的寿命。

PARTEK 22_2PARTEK 22_3

派克汉尼汾旗下的22系列PFA膜阀设计巧妙,质量卓越,能够符合半导体制程中化学品、尤其是Slurry输送的不同要求,更少的故障以及更长的产品寿命将为客户带来更多的价值。

在即将开展的2019 SEMICON China上,派克汉尼汾将携22系列PFA膜阀等相关产品亮相,欢迎大家莅临展台现场,向我们的工作人员咨询更多相关信息!

2019 SEMICON China
时间: 2019年3月20日到22日
地点:上海新国际博览中心
展台: N1.1721

更多技术资询,请联系 Cindy Zhu   Email: czhu@parker.com   Office: +86 21 2899 5209

类别
作者最近的博客文章­

液压马达在自动洗车系统中大放异彩!

时代在发展,科技在创新,人们的生活节奏也在加快。在这个效率为王的时代,有车一族却难免在节假日遇到洗车难、洗车要排队等情况。近几年,全自动洗车开始进入人们的视野,并在国内逐步兴起。去年,广州中石化多个加油站推出全自动洗车服务,车主只需将车停到指定位置,通过扫描旁边触摸屏上的二维码...

使用新的换油方式,减少常见的工伤危险

我们期待每天活力满满地投入工作,平安健康地回家。然而事与愿违,每年都有数以千万计的人遭受工伤。一些工伤比较轻比如轻微割伤或刮擦等,而另一些工伤却比较严重,甚至可能致命。据统计,在美国每7秒就会发生一起工伤事故。根据美国安全委员会提供的资料,每年约470万人受伤。其中,在容易发生工伤危险的行业中,制造...

CO2控制产品,助力绿色制冷技术!

近年来,环保制冷剂替代产品成为制冷空调业新宠,包括CO2在内的天然工质因较低的GWP值或ODP值,应用日益广泛,以至于当您穿梭于超市琳琅满目的冷柜时,可能都不曾想到,冷柜里奶制品、肉类、蔬果类食品能如此新鲜,竟然与CO2制冷系统密不可分! 据了解,越来越多的超市开始采用CO2复叠式制冷系统进行制冷,让食品尽量保持鲜美。相比氟利昂,CO2无色无...
评论

如果您对派克产品或服务有任何疑问, 我们将竭诚为您提供帮助, 请联系我们!

评论 小部件的大学问

发表评论





Captcha