运动和控制技术博客 | 派克汉尼汾中国

小部件的大学问

PARTEK 22 PFA从智能手机到产业机器人,再到超级计算机,随着应用范围不断增加,半导体行业在蓬勃发展的同时,其制程工艺也不断快速提升。然而,无论工艺如何改进,都离不开盐酸、氢氧化钠溶液、过氧化氢溶液,以及乙醇,丙酮等各类高纯度化学品的使用。

这些高纯度化学品具有强酸、强腐蚀性等特性,在其输送系统原材料的选择上,必须慎之又慎。PFA和PTFE因拥有出色的物化性能而进入人们的视野,它们具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂、耐腐蚀等特点,被视为半导体制程中化学品输送系统的理想材料。

例如,在半导体的CMP工艺中,Slurry输送系统的部件就可选用PFA材质。CMP又称化学机械抛光,它能精确并均匀地把硅片抛光为需要的厚度和平坦度,其中,Slurry供应系统与之关系密切。作为一种特殊的化学研磨液,Slurry是由二氧化硅等微小颗粒悬浮在液体中形成的悬浮液,其供应系统将持续为CMP提供制程所需的化学研磨液,一旦系统出现异常,会对CMP制程造成严重损失。

因此,Slurry输送系统对阀门的选用要求严格。比市场上同类产品相比,派克汉尼汾旗下的 22系列PFA膜阀,能更好地符合用户需求。

PARTEK 22_1

双密封点
Slurry有易结晶的特性,一旦在阀座密封处形成结晶,就会影响阀门的关闭功能,造成泄漏故障。因此,22系列膜阀采用膜片密封形状设计,形成双密封点,能有效控制这类故障。在阀门关闭时的应力测试图中,可以观察到双密封点,如果其中一处密封点失效,另一处密封点还将继续工作,从而提高阀门的工作寿命。第三方的测试数据也很好地证明了这一点:在输送盐酸和硫酸时,工作寿命超过210万次;输送纯水时,超过300万次;输送Slurry时,双密封点的效果明显,在系统无故障的条件下,工作寿命超过210万次。

滑梯状流道
目前市场上应用于Slurry阀门多数采用内部无死角的自排放结构,使阀门在不使用时能够排空。22系列膜阀采用滑梯状流道设计,一定程度上减少了流体在阀门内部的停留时间,同时减小流体对阀体不同部位的应力差,从而有效延长阀体的寿命。

PARTEK 22_2PARTEK 22_3

派克汉尼汾旗下的22系列PFA膜阀设计巧妙,质量卓越,能够符合半导体制程中化学品、尤其是Slurry输送的不同要求,更少的故障以及更长的产品寿命将为客户带来更多的价值。

在即将开展的2019 SEMICON China上,派克汉尼汾将携22系列PFA膜阀等相关产品亮相,欢迎大家莅临展台现场,向我们的工作人员咨询更多相关信息!

2019 SEMICON China
时间: 2019年3月20日到22日
地点:上海新国际博览中心
展台: N1.1721

更多技术资询,请联系 Cindy Zhu   Email: czhu@parker.com   Office: +86 21 2899 5209

类别
作者最近的博客文章­

小部件的大学问

从智能手机到产业机器人,再到超级计算机,随着应用范围不断增加,半导体行业在蓬勃发展的同时,其制程工艺也不断快速提升。然而,无论工艺如何改进,都离不开盐酸、氢氧化钠溶液、过氧化氢溶液,以及乙醇,丙酮等各类高纯度化学品的使用。 这些高纯度化学品具有强酸、强腐蚀性等特性,在其输送系统原材料的选择上,必须慎之又慎。PFA和PTFE因...

以小驭大,成就惊人速度!

如今,提起中国铁路的颜值担当,非“复兴号”莫属,修长的流线造型,极具工业质感的银灰色车身,神似“金凤凰”的造型,惊艳无数旅客。它不仅颜值高,而且跑得快,一分钟可前进5833米,更难能可贵的是,在高速运行的状态下,制动依旧精准平稳。这与制动系统的卓越性能密不可分。 制动系统的作用在于控制车辆的安全停车,对于高速运行的列车来说,制动系统的重要性毋庸置疑,每个部件都必须具有极高的可靠...

bauma CHINA 2018开展在即,精彩剧透最后一波!

对于工程机械迷来说,此刻的心情估计无比兴奋与激动,因为距离 2018 bauma CHINA正式开幕还剩最后三天。作为参展商来说,此时我们正在紧张有序地做最后准备,力求以更好的面貌奔赴这场两年之约的行业盛会,小派也不能落后啦,最后一波剧透助您轻松get展台亮点!  工业物联网的发展给工程机械行业带来了前所未有的机遇与挑战,包括派克汉尼汾在内的行业配件及服务供应商也纷纷加...
评论

如果您对派克产品或服务有任何疑问, 我们将竭诚为您提供帮助, 请联系我们!

评论 小部件的大学问

发表评论





Captcha