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클린룸 애플리케이션을 위한 정밀 리니어 장비 선정 방법 | 파카하니핀 코리아

Cleanroom Actuators

클린룸에서 필요한 장비가 있으신가요?

클린룸은 먼지, 공중에 분포되어 있는 미생물, 에어로졸 입자, 화학 증기와 같은 환경오염 물질을 최소화하여 유지되어야 합니다. 생명과학 테스트장비, 반도체 장비, 검사 장비, 전자제품 제조 등 오염이 치명적인 다양한 애플리케이션에 필수적입니다. 클린룸의 모든 장비도 오염물질이 없어야 하며, 리니어 테크놀러지를 비롯하여, 클린룸에서 사용하기 위한 제품은 제조 시점부터 클린룸의 조건을 맞추기 위해 엄격한 절차를 따라야 합니다. 

이러한 장비의 움직임으로 파티클이 발생하지만, 파티클 형성의 수량과 발생 위치를 고려하여, 리니어 기술로 제조, 조립하는 것이 클린룸의 인증을 위해 나은 선택입니다. 또한 클린룸의 요건을 충족하기 위해서는 애플리케이션의 몇 가지 다른 변수를 고려해야 합니다.

  스테이지의 에어 플로어의 유무
클린룸에서 안전 및 환경 표준을 유지하는 것은 매우 중요하며, 이를 위해서는 흄 후드(Fume Hood)가 갖추어져 있어야 합니다. 에어 플로어는 정밀한 리니어 기술 및 부품 검사 또는 광학 어셈블리와 같은 깨끗한 작업 환경이 필요한 애플리케이션에 적합합니다. 
 
  • 작동 프로파일(가속, 속도 등) 
리니어 기술을 필요로 하는 애플리케이션의 경우, 리니어 포지셔너의 올바른 작동 프로파일이 필요합니다. 무결점 환경이 훼손 불가한 클린룸 애플리케이션이 특히 그러합니다. 작동 프로파일이 부정확하면 포지셔너의 모터가 과열되거나 내부 구성 요소가 손상될 수 있습니다. 이 두 가지 문제는 새로운 입자 오염물질이 대기에 유입되기 때문에 클린룸 환경에 부정적인 영향을 미칠 것입니다.
 
  • 리니어 장비의 방향
당신이 필요로하는 리니어의 구동 방향은 무엇인가요(수평 방향, 수직 방향, 업사이드 다운 방향)? 클린룸에서 장착 방향은 입자의 대기 중 방출에 영향을 미칩니다. 가장 좋은 장착 솔루션은 가능한 경우 이동 구성 요소를 작업 영역 아래로 유지하는 것입니다. 또한, 우측 장착 방향은 수직 또는 상향 방향보다 시스템 내부에 입자를 더 잘 가두어 둡니다.
 
  • 리니어 스테이지의 위치 선정 
클린룸 환경을 설계할 때는 리니어 포지셔너와 최대 이동 경로에 부착된 샘플의 위치를 고려해야 합니다. 전체 시스템은 클린룸 상태가 유지되도록 흄 후드 아래에 있어야 합니다. 포지셔너 중 극히 일부만 외부 환경에 노출되더라도 오염은 여전히 전체 클린룸으로 확산될 수 있으며, 이것은 리니어 장비의 성능에 영향을 미칠 것입니다.
Parker MSR Series
 

위에서 언급한 바와 같이, 리니어 기술 사용에 있어서 클린룸 환경을 적절하게 설정하는 표준적인 방법은 없습니다. 각 변수 및 모든 애플리케이션에 대해 검토하여 포지셔너가 클린룸 사용에 적합한지 확인해야 합니다. 파카에서는 클린룸 환경에서 적용가능한 다양한 정밀 리니어 포지셔너를 공급하고 있습니다.

클린룸에서 사용할 모든 리니어 포지셔너는 미국의 연방 표준 209E 및 ISO 표준 14644에 따라 표준 테스트 절차를 거칩니다. 그러한 제품들 중 하나가 소형 스퀘어 레일, mSR 시리즈입니다. 설계 시 접촉면 수가 제한되어 있어 클린룸용으로 이상적입니다.

 

mSR은 다음과 같은 다양한 클린룸 애플리케이션에 적용이 가능합니다.

  • 낮은 프로파일과 높은 정밀도가 요구되는 현미경 사용 애플리케이션이나 디지털 병리학과 같은 생명과학 애플리케이션
  • 직진성, 평탄성 및 높은 정밀도가 요구되는 반도체 도량형 적용 가능
  • 소형이지만 가속도가 높고 속도 추력이 높아 전자제품 제조의 포지셔너로 사용가능
     

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파카코리아 제품 보기: http://ph.parker.com/kr/ko/products

파카코리아 문의처: parkerkr@parker.com

 

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